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      國內首臺基于DPSS激光器的OLED剝離設備研發成功

      時間:2023-07-11

             激光剝離(Laser-Lift-Off)作為柔性OLED制程的核心工藝之一,長期被韓國設備供應商所壟斷。亞威艾歐斯通過引進技術再創新,與德國通快公司密切合作,大幅縮短了研發進程,在關鍵指標和工藝性能方面均達到進口設備水平。

      我司DPSS-LLO激光剝離設備的研制成功,標志著國際先進激光技術的應用在國產化進程中取得了重要突破。

      【DPSS激光剝離設備】

             DPSS激光剝離是指通過固體納秒紫外激光輻照,實現有機發光顯示器件(PI膜)與搭載的玻璃基板分離,與傳統的準分子脈沖激光剝離相比,具有能量輸入穩定、生產效率高、不需要定期更換工作氣體等優勢。

             據媒體報道Samsung Display其A3線主要采用了DPSS LLO設備,因DPSS技術較準分子激光器使用和維護成本低,并可以減少設備采購總數量。

          

      【激光剝離工藝示意圖】

       亞威艾歐斯激光剝離設備搭載的DPSS激光光學系統,能量利用率達85%以上。中德韓聯合研發的“Z”型折疊光路,將整個線光斑光學系統長度縮短30%。該系統整形后的線光斑長度400-750mm(可調節)、寬度30μm,可同時應對黃色和透明PI兩種產品的激光剝離工藝,且工藝品質及加工效率有大幅度提升。

      【光路示意圖】

       

      【線光斑】

      【激光剝離柔性顯示屏樣品】

            亞威艾歐斯激光剝離設備,已對國內數家顯示面板廠商提供的樣品進行了測試,效果良好,完全達到客戶技術要求。

            隨著顯示面板企業對使用成本和效率要求的不斷提高,導入DPSS激光剝離工藝是大勢所趨,亞威艾歐斯將繼續努力并與客戶密切協同,加快實現量產交付,為柔性OLED制程關鍵設備的進口替代做出貢獻。

       

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